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- 產(chǎn)品名稱：UL-5000干式氦氣檢漏儀
- 產(chǎn)品型號：UL5000
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簡單介紹
UL-5000干式氦氣檢漏儀
UL5000 氦氣檢漏儀設(shè)計用于滿足*關(guān)鍵和*苛刻的檢漏應(yīng)用。通過在經(jīng)現(xiàn)場驗證的真空設(shè)計中采用 INFICON **軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供測試靈活性、高靈敏度和快速、**的測量結(jié)果，使得所有檢漏應(yīng)用更迅速、容易
產(chǎn)品描述
UL-5000干式氦氣檢漏儀 氣體檢測儀
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UL5000 氦氣檢漏儀設(shè)計用于滿足*關(guān)鍵和*苛刻的檢漏應(yīng)用。通過在經(jīng)現(xiàn)場驗證的真空設(shè)計中采用 INFICON **軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，UL5000 提供測試靈活性、高靈敏度和快速、**的測量結(jié)果，使得所有檢漏應(yīng)用更迅速、容易。
該 UL5000 在所有測量范圍中提供快速響應(yīng)時間，并提供極短的周期時間以達到測試條件和*終結(jié)果。特別設(shè)計的真空結(jié)構(gòu)提供持續(xù)、較高的氦氣抽氣能力及極快的響應(yīng)時間。
功能
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HYDRO-S（氫氣抑制）可確保快速滿足所有測試條件。
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I-CAL（智能 - 泄漏率計算法）確保了在所有測量范圍中提供快速泄漏響應(yīng)。
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特殊的多入口渦輪分子泵可提供優(yōu)化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比，實現(xiàn)了**靈敏度、響應(yīng)度和快速清潔性。
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增壓渦輪分子泵可對所有測試對象做出極快響應(yīng)，包括*大容量和腔室。
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經(jīng)現(xiàn)場驗證的 INFICON 扇形磁場質(zhì)譜儀多年以來的**、可重復(fù)結(jié)果實現(xiàn)了無故障、免維護的設(shè)計。
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自保護功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動吹掃循環(huán)可確保 UL5000 的隨時可用性。
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旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實現(xiàn)了操作靈活性。
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裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制可通過軟件激活，防止未授權(quán)使用或測試設(shè)置的意外修改。
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通過電子郵件進行的軟件更新可確保您的 UL5000 發(fā)揮*佳性能。
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具有*佳高度工作面的工作站設(shè)計以及 ESD 臺墊和工具箱實現(xiàn)了測試便利性。
典型應(yīng)用
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半導(dǎo)體和平板顯示裝置上使用的測漏部件、配件和大型腔室
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檢漏半導(dǎo)體和平板工具
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檢漏航空部件、配件和系統(tǒng)
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檢漏儲存容器/儲存罐
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規(guī)格
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類型
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UL5000 Helium Leak Detector
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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<5E-12
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氦氣（吸**式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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8E-8
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GROSS 模式*大進氣口壓力
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mbar
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15
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FINE 模式*大進氣口壓力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大進氣口壓力
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mbar
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0.4
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抽真空期間的抽氣能力
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m3/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max 8
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FINE 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max 20
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ULTRA 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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>20
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可檢測質(zhì)量數(shù)
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2,3,4 amu
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質(zhì)譜儀扇形場
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180 °C
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燈絲離子源銥/氧化釔涂層
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2
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內(nèi)置校準測試漏孔
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E-7
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測試端口
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DN40KF
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可調(diào)觸發(fā)器
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2
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接口
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RS232
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圖形記錄器輸出
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2 x10 V
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輸入/輸出
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PLC compatible
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允許的環(huán)境溫度（操作過程中）
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°C
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+10...+40
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保護類型
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IP 20
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重量
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140
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尺寸（長x寬x高）
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1068x530x1083
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電源電壓
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230(+-10%)50Hz
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功耗
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VA
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1100
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SYSMAC-SE201L SYSMAC-SE203L MST-220AN SYSMAC-SE210L SYSMAC-SE230L MST-220ALC SYSMAC-SE250L SYSMAC-VE001L MST-220BL FH-AP1 FH-AP1L MST-220BNC MST-220BN MLC-2200 MLC2200AL FZ4-H1100 MLC2200ANC FZ4-H1105 MLC2200ALC FZ4-H1100-10 MLC2200BN FZ4-H1105-10 MLC2200BL FZ4-H1150 MLC2200BNC
