MQ系列測量機設計采用鋼性好、質量輕的全封閉式框架移動橋式結構。其結構簡單、緊湊、承載能力大、測量速度性好，具有高精度、高性能和高穩(wěn)定性的優(yōu)點。固定的花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。結構簡單、緊湊，運動更加快速、輕便三軸導軌均采用上等花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實效變形能力，鋼性好、動態(tài)幾何誤差變形*小。橫梁采用獨特的45°斜梁技術，確保了機器的穩(wěn)定。三軸導軌均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承，運動更平穩(wěn)。驅動系統(tǒng)采用進口高性能直流伺服電機、進口摩擦桿傳動裝置，確保傳動更快捷、更精準、運動性能更佳。 Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。。

技術參數(shù)

測量范圍(mm)X：800

測量范圍(mm)Y：1000

測量范圍(mm)Z：600

探測系統(tǒng)：PH10T+TP20

分辨率：0.5μm (選配 0.1μm)

示值誤差（μm）：3.0+L/250

探測誤差（μm）：3.5